反応科学超高圧電子顕微鏡は一般的な200kVの電子顕微鏡と比較して非常に厚い試料を透過することが可能です。特にこの装置の大きな特徴として各種ガスによる金属の酸化や触媒反応など化学反応をその場観察できます。

照射系球面収差補正装置を搭載した、世界最高のSTEM-HAADF像分解能78pmを有する原子分解能分析電子顕微鏡で、EDSもしくはEELSと兼用すると原子レベルでの元素分析が可能です。

照射系と対物系に球面収差補正装置を搭載した、世界最高のTEM/STEM像分解能を有する原子分解能分析電子顕微鏡で、EDSもしくはEELSと兼用すると原子レベルでの元素分析が可能です。

加速電圧200kVの電子顕微鏡で、EELS以外に波長分散X線分光器(WDX)が付属している。カソードルミネッセンス(CL)光も計測可能な200kV電子顕微鏡。

電界放出型電子顕微鏡（加速電圧200kV）で、直接倍率としては、TEM機能で150万倍の高分解能観察が可能

真空以外に雰囲気を制御しながらSEM観察が可能な走査型電子顕微鏡。EDSによる元素分析や試料マニピュレーション機能がある。

電子銃／熱電子放出W
TEM点分解能／<50.0nm(SEM像)
分析用検出器／EDS
試料ホルダー／スタンダード、断面観察用

・試料断面観察
・リアルタイムSEM・STEM観察
・リアルタイム3D-EDS
・リアルタイム3D-EBSD

・高品位TEM試料作成
・高分解能SEM観察、EDS分析

イオン銃に搭載されたGaをイオン化し、サンプルへ集束されたイオンビームとして照射し加工。

ビットマップ画像データを利用して、任意形状の加工が可能

・薄膜試料作製
・Digital Micrographでの画像取り込み

試料面上にセットされた遮蔽板にイオンビームを垂直に照射し、イオン照射を受けエッチングされる領域と、社団版で遮断される領域の境界に沿って断面を形成させる試料作製装置です。操作パネルにて試料加工状態を観察できます。

・基本仕様：加速電圧0.1～2kV
・試料傾斜角：0～45°
・用途：ダメージ層の除去

切断、機械研磨、化学研磨、FIB用サンプル加工等、各種装置を取りそろえています。