アルゴンイオン研磨装置 PIPSⅡ

PIPSⅡ

  • イオン銃:低エネルギー集束電極 ペニング形イオン銃2式
  • 試料サイズ :3mm
  • 試料回転 :1~6rpm まで可変
  • ステージの温度調整用(-120℃~+25℃)
  • 薄膜試料作製
  • Digital Micrographでの画像取り込み