アルゴンイオン研磨装置 PIPSⅡ イオン銃：低エネルギー集束電極 ペニング形イオン銃2式 試料サイズ ：3mm 試料回転 ：1～6rpm まで可変 ステージの温度調整用（-120℃～+25℃） 薄膜試料作製 Digital Micrographでの画像取り込み
