クロスセクションポリッシャー – 微細構造解析プラットフォーム｜高性能電子顕微鏡による反応科学・ナノ材料科学研究支援拠点

試料面上にセットされた遮蔽板にイオンビームを垂直に照射し、イオン照射を受けエッチングされる領域と、社団版で遮断される領域の境界に沿って断面を形成させる試料作製装置です。操作パネルにて試料加工状態を観察できます。