電界放出走査 透過電子顕微鏡 JEM-10000BU (収差補正電子顕微鏡)

 電界放出走査透過電子顕微鏡（収差補正電子顕微鏡）JEM-10000BUには、集束レンズ系、結像レンズ系両方に球面収差補正器が組み込まれており、STEM（200kV）・TEM（200kV）共に0.10nmの分解能が得られます。エネルギー分散X線分光（EDX）、EELS、および、電子線ホログラフィーを用いた原子分解能での微小電位観察も可能です。