走査電子顕微鏡 Quanta200FEG

 5軸モータ駆動ステージの大型試料室を搭載していますので、最大8インチ径×80mm高さの大きな試料を入れることができ、試料を加工せずにそのままの状態での試料表面の形状観察や、EDS機能による元素組成分析が可能です。