集束イオンビーム加工機 FB-2100(FIB)

FB-2100

 集束イオンビーム加工機(FIB)FB-2100では、バルクステージとサイトエントリーステージの両方を装備しています。 試料を真空外へ持ち出すことなくバルク試料から直接、電子顕微鏡用の薄膜試料が作製できるマイクロサンプリング機能を備えています。 また、CADシステムにより表面に任意図形の微細加工を施した試料の作製が可能です。