JEM-ARM200Fは照射系球面収差補正装置を搭載した、世界最高のSTEM-HAADF像分解能78pmを有する原子分解能分析電子顕微鏡で、EDSもしくはEELSと兼用すると原子レベルでの元素分析が可能です。
| 分解能 | |
|---|---|
| 走査透過暗視野像 | 82pm（加速電圧200kV、ショットキー電界放出形電子銃搭載時） 78pm（加速電圧200kV、冷陰極電界放出形電子銃搭載時） |
| 透過像（点分解能） | 190pm（加速電圧200kV） 110pm（加速電圧200kV、結像系球面収差補正装置装着時） |
| 倍率 | |
|---|---|
| 走査透過像 | X200～X150,000,000 |
| 透過像 | X50～X2,000,000 |
| 電子銃 | |
|---|---|
| 電子銃 | ショットキー電界放出形電子銃 冷陰極電界放出形電子銃（オプション） |
| 加速電圧 | 200～80kV（標準200kV、80kV） |
| 試料系 | |
|---|---|
| ステージ | ユーセントリックサイドエントリーゴニオメーターステージ |
| 試料サイズ | 3mmΦ |
| 最大傾斜角 | X軸：±25° Y軸：±25°（2軸傾斜ホルダ使用時） |
| 移動範囲 | X,Y：±1mm Z：±0.1mm（モータ駆動／ピエゾ駆動） |
| 収差補正装置 | |
|---|---|
| 照射系球面収差補正装置 | |
| 結像系球面収差補正装置 |
| その他 | |
|---|---|
| エネルギー分散形X線分析装置（EDS） 電子線エネルギー損失分光器（EELS） デジタルCCDカメラシステム TEM/STEMトモグラフィーシステム バイプリズム |
