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支援体制
 名古屋大学の超高圧電子顕微鏡施設で行う本事業では、反応科学超高圧電子顕微鏡による支援を中心に高性能電子顕微鏡群(クラスター)を配置して実施します。 これにより極微小元素分析、3次元立体観察、ガス中その場観察、極低温観察も可能となり、支援項目の多様化による利用拡大が可能となります。この事業の実施には名古屋大学の電子顕微鏡グループが総合的に支援します。
支援の体制フロー
支援の項目
 試料の加工法から観察方法、装置の選定、解析、コンサルティングを行います。
薄膜試料への加工 機械研磨(粗研磨)からイオンビーム加工(精密加工)、ミクロトームによる試料作製法などの最適の試料作製法
電子顕微鏡観察 観察と実験デザイン、最良な電子顕微鏡および観察法の選定
観察結果の解析 観察結果の解析、観察結果のまとめ、解釈のコンサルティング
当施設の設備
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡
収差補正電子顕微鏡(冷電界放出電子銃)
収差補正電子顕微鏡(電界放出電子銃)
電子分光走査透過電子顕微鏡
高分解能分析電子顕微鏡
走査電子顕微鏡

試料作製装置群
高速加工観察分析装置
集束イオンビーム加工機
アルゴンイオン研磨装置
ウルトラミクロトーム
試料作製装置群
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