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アルゴンイオン研磨装置 PIPSU
アルゴンイオン研磨装置 PIPSU
  • イオン銃:低エネルギー集束電極 ペニング形イオン銃2式
  • 試料サイズ :3mm
  • 試料回転 :1〜6rpm まで可変
  • ステージの温度調整用(-120℃〜+25℃)
  • 薄膜試料作製
  • Digital Micrographでの画像取り込み
クロスセクションポリッシャー
クロスセクションポリッシャー 試料面上にセットされた遮蔽板にイオンビームを垂直に照射し、イオン照射を受けエッチングされる領域と、社団版で遮断される領域の境界に沿って断面を形成させる試料作製装置です。操作パネルにて試料加工状態を観察できます。
  • イオン加速電圧:2 〜 6kV
  • イオンビーム径半値幅 :500μm(加速電圧:6kV、試料:Si)
  • ミリングスピード:100μm/H以上(2時間の平均値、加速電圧:6kV、試料:Si、エッジ距離:100μm)
  • 最大搭載試料サイズ :幅11mm×長さ10mm×厚さ2mm
低加速イオン研磨装置 Gentle Mill Model IV5
低加速イオン研磨装置 Gentle Mill Model IV5
  • 基本仕様:加速電圧0.1〜2kV
  • 試料傾斜角:0〜45°
  • 用途:ダメージ層の除去
当施設の設備
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡
収差補正電子顕微鏡(冷電界放出電子銃)
収差補正電子顕微鏡(電界放出電子銃)
電子分光走査透過電子顕微鏡
高分解能分析電子顕微鏡
走査電子顕微鏡

試料作製装置群
高速加工観察分析装置
集束イオンビーム加工機
アルゴンイオン研磨装置
ウルトラミクロトーム
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