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バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム ETHOS NX5000
バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム ETHOS NX5000
仕 様
FIB 二次電子
像分解能
(C.P)
4 nm @ 30 kV、
60 nm @ 2 kV
加速電圧 0.5 kV – 30 kV
プローブ
電流範囲
0.05 pA – 100 nA
イオン源 GA液体金属イオン源
SEM 二次電子
像分解能
(C.P)
1.5 nm @ 1 kV、
0.7 nm @ 15 kV
  加速電圧 0.1 kV – 30 kV
  電子銃 冷陰極電界放出型
試料サイズ 最大 150 mm径
オプション Ar/Xeイオンビームシステム
EDS(エネルギー分散型X線分析装置)
 
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