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高分解能電子状態計測操作透過型電子顕微鏡(収差補正電子顕微鏡)JEM-ARM200(Cold)
高分解能分析電子顕微鏡  JEM-ARM200Fは照射系球面収差補正装置を搭載した、世界最高のSTEM-HAADF像分解能78pmを有する原子分解能分析電子顕微鏡で、EDSもしくはEELSと兼用すると原子レベルでの元素分析が可能です。
分解能
走査透過暗視野像 82pm(加速電圧200kV、ショットキー電界放出形電子銃搭載時) 78pm(加速電圧200kV、冷陰極電界放出形電子銃搭載時)
透過像(点分解能) 190pm(加速電圧200kV) 110pm(加速電圧200kV、結像系球面収差補正装置装着時)
倍率
走査透過像 X200〜X150,000,000
透過像 X50〜X2,000,000
電子銃
電子銃 ショットキー電界放出形電子銃 冷陰極電界放出形電子銃(オプション)
加速電圧 200〜80kV(標準200kV、80kV)
試料系
ステージ ユーセントリックサイドエントリーゴニオメーターステージ
試料サイズ 3mmΦ
最大傾斜角 X軸:±25° Y軸:±25°(2軸傾斜ホルダ使用時)
移動範囲 X,Y:±1mm Z:±0.1mm(モータ駆動/ピエゾ駆動)
収差補正装置
照射系球面収差補正装置
結像系球面収差補正装置
その他
エネルギー分散形X線分析装置(EDS)
電子線エネルギー損失分光器(EELS)
デジタルCCDカメラシステム
TEM/STEMトモグラフィーシステム
バイプリズム
当施設の設備
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡
収差補正電子顕微鏡(冷電界放出電子銃)
収差補正電子顕微鏡(電界放出電子銃)
電子分光走査透過電子顕微鏡
高分解能分析電子顕微鏡
走査電子顕微鏡

試料作製装置群
高速加工観察分析装置
集束イオンビーム加工機
アルゴンイオン研磨装置
ウルトラミクロトーム
試料作製装置群
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