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走査電子顕微鏡 Quanta200FEG
走査電子顕微鏡 Quanta200FEG  5軸モータ駆動ステージの大型試料室を搭載していますので、最大8インチ径×80mm高さの大きな試料を入れることができ、試料を加工せずにそのままの状態での試料表面の形状観察や、EDS機能による元素組成分析が可能です。

走査電子顕微鏡 JSM-6610 A
走査電子顕微鏡 JSM-6610 A  電子銃/熱電子放出W
TEM点分解能/<50.0nm(SEM像)
分析用検出器/EDS
試料ホルダー/スタンダード、断面観察用
当施設の設備
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡
収差補正電子顕微鏡(冷電界放出電子銃)
収差補正電子顕微鏡(電界放出電子銃)
電子分光走査透過電子顕微鏡
高分解能分析電子顕微鏡
走査電子顕微鏡

試料作製装置群
高速加工観察分析装置
集束イオンビーム加工機
アルゴンイオン研磨装置
ウルトラミクロトーム
試料作製装置群
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