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集束イオンビーム加工機
 集束イオンビーム加工機(FIB)FB-2100では、バルクステージとサイトエントリーステージの両方を装備しています。 試料を真空外へ持ち出すことなくバルク試料から直接、電子顕微鏡用の薄膜試料が作製できるマイクロサンプリング機能を備えています。 また、CADシステムにより表面に任意図形の微細加工を施した試料の作製が可能です。
集束イオンビーム加工機 ビットマップ加工システム IB-37010 BMS
 本ユニットは、集束ビーム加工観察装置(FIB)に接続され、ビットマップ画像データを利用して、任意形状の加工を可能にします。
ビットマップ加工システム IB-37010 BMS
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