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汎用電子顕微鏡
汎用電子顕微鏡 TEM/STEM/SEM機能を搭載した200kV電子顕微鏡で、スロースキャンCCDカメラ(2048 × 2048 pixels)を使った フィルムレスでの写真撮影ができます。EDS(エネルギー分散型X線分光)装置による元素分析も可能です。2軸試料傾斜ホルダーによる電子回折図形や、鮮明な明視野像および暗視野像を撮影することが可能です。
当施設の設備
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡
収差補正電子顕微鏡(冷電界放出電子銃)
収差補正電子顕微鏡(電界放出電子銃)
電子分光走査透過電子顕微鏡
高分解能分析電子顕微鏡
走査電子顕微鏡

試料作製装置群
高速加工観察分析装置
集束イオンビーム加工機
アルゴンイオン研磨装置
ウルトラミクロトーム
試料作製装置群
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