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収差補正電子顕微鏡
収差補正電子顕微鏡 電界放出走査透過電子顕微鏡(収差補正電子顕微鏡)JEM-10000BUには、集束レンズ系、結像レンズ系両方に球面収差補正器が組み込まれており、STEM(200kV)・TEM(200kV)共に0.10nmの分解能が得られます。エネルギー分散X線分光(EDX)、EELS、および、電子線ホログラフィーを用いた原子分解能での微小電位観察も可能です。
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