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反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡 JEM-1000K RS
 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡 JEM-1000k RSは、10-6Paの高真空から、1.3×104Paまでのガス環境下でその場観察が可能です。また、ガス環境下での電子エネルギー損失分光(EELS)も可能です。ガスは2系統で導入でき、N2、O2、H2、CO+Airガスを常備しています。それ以外のガスを希望する場合は個々に相談を応じます。
 本装置による3次元CTは、ガス反応室を用いない場合、1軸傾斜±70°の傾斜が可能です。また、360°回転ホルダーの利用も可能であり、高加速電圧の特色を生かして、厚い試料の立体観察に有効です。これは、生物・非生物試料共通です。
 そのほか、液体Heホルダー、2軸傾斜加熱ホルダー、ワイヤータイプ超高温加熱ホルダー、ナノインデンテイションホルダーなどの利用が可能です。
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡
主な装置性能
厚い試料の3次元立体観察 3次元観察装置 元素マッピング EELS機能、
元素分析・解析装置
ガス環境下での観察 多機能ガス環境試料室 厚い試料の3次元立体観察 3次元観察装置
元素分析と構造解析が同時に可能 元素分析、STEM機能 半導体デバイス等の歪み解析 3段系集束レンズ
化学との融合 元素分析、EELS機能 物性と原子レベル構造の同時測定 STEM、EELS機能
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