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反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡 JEM-1000K RS
 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡 JEM-1000k RSは、10-6Paの高真空から、1.3×104Paまでのガス環境下でその場観察が可能です。また、ガス環境下での電子エネルギー損失分光(EELS)も可能です。ガスは2系統で導入でき、N2、O2、H2、CO+Airガスを常備しています。それ以外のガスを希望する場合は個々に相談を応じます。
 本装置による3次元CTは、ガス反応室を用いない場合、1軸傾斜±70°の傾斜が可能です。また、360°回転ホルダーの利用も可能であり、高加速電圧の特色を生かして、厚い試料の立体観察に有効です。これは、生物・非生物試料共通です。
 そのほか、液体Heホルダー、2軸傾斜加熱ホルダー、ワイヤータイプ超高温加熱ホルダー、ナノインデンテイションホルダーなどの利用が可能です。
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡
主な装置性能
厚い試料の3次元立体観察 3次元観察装置 元素マッピング EELS機能、
元素分析・解析装置
ガス環境下での観察 多機能ガス環境試料室 厚い試料の3次元立体観察 3次元観察装置
元素分析と構造解析が同時に可能 元素分析、STEM機能 半導体デバイス等の歪み解析 3段系集束レンズ
化学との融合 元素分析、EELS機能 物性と原子レベル構造の同時測定 STEM、EELS機能
当施設の設備
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡
収差補正電子顕微鏡(冷電界放出電子銃)
収差補正電子顕微鏡(電界放出電子銃)
電子分光走査透過電子顕微鏡
高分解能分析電子顕微鏡
走査電子顕微鏡

試料作製装置群
高速加工観察分析装置
集束イオンビーム加工機
アルゴンイオン研磨装置
ウルトラミクロトーム
試料作製装置群
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