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電界放出型透過電子顕微鏡
電界放出型透過電子顕微鏡 電界放出型電子顕微鏡(加速電圧200kV)で、直接倍率としては、TEM機能で150万倍の高分解能観察が可能です(像撮影用CCDカメラは、高視野用と高倍率用の2台が付属)。また、STEM機能とEDS元素分析装置による元素マッピング機能も付属しています。
当施設の設備
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡
収差補正電子顕微鏡(冷電界放出電子銃)
収差補正電子顕微鏡(電界放出電子銃)
電子分光走査透過電子顕微鏡
高分解能分析電子顕微鏡
走査電子顕微鏡

試料作製装置群
高速加工観察分析装置
集束イオンビーム加工機
アルゴンイオン研磨装置
ウルトラミクロトーム
試料作製装置群
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